Het Chinese Landao Suiyan toont een prototype van een EUV-lichtbron, het onderdeel waarmee de meest geavanceerde chips worden belicht. Massaproductie duurt nog 3 tot 5 jaar.
Een cleanroom voor halfgeleiders (archiefbeeld). Foto: Aileen Devlin / Jefferson Lab / Wikimedia Commons (Publiek domein)
Op een industriebeurs in Shanghai heeft het Chinese bedrijf Landao Suiyan een prototype getoond van een lichtbron voor extreem ultraviolet licht (EUV). Dat onderdeel is nodig om de meest geavanceerde chips te maken, van 7 nanometer en kleiner. Het is volgens de Chinese krant Jiefang Daily het verst gevorderde Chinese EUV-prototype dat tot nu toe publiekelijk is getoond.
Volgens medewerkers op de stand is 90 procent van de onderdelen in China gemaakt. De meeste kernonderdelen heeft het bedrijf zelf ontwikkeld. De technische aanpak is volgens hen dezelfde als die van de internationale marktleiders. Het prototype kan worden gebruikt om belichting van chips te testen.
Nog drie tot vijf jaar
De medewerkers zijn er wel eerlijk over dat massaproductie nog drie tot vijf jaar weg is. De grootste uitdagingen zijn het vermogen en de stabiliteit. Commerciële EUV-machines hebben een lichtbron nodig van honderden watts die langdurig betrouwbaar werkt. Het kleinere systeem dat het bedrijf al als product aanbiedt, levert volgens de eigen specificaties meer dan 15 watt aan EUV-licht.
Landao Suiyan werd in 2024 opgericht en bouwt voort op onderzoek van een plasmalaboratorium van de Tsinghua-universiteit. In juli haalde het bedrijf een eerste grote investeringsronde op, onder meer van een investeringsarm van chipmaker SMIC.
Waarom dit telt
Op dit moment is ASML uit Veldhoven wereldwijd de enige leverancier van EUV-machines. Door exportregels mag ASML die machines niet aan China verkopen. China investeert daarom fors in eigen alternatieven. Huawei-topman Richard Yu zei eerder al dat er in China aan EUV-apparatuur wordt gewerkt. Een lichtbron is één onderdeel; een complete EUV-machine vraagt ook om uiterst precieze optiek en mechaniek.
Dit artikel is met hulp van AI geschreven op basis van openbare bronnen. Eindverantwoordelijk: Danny Visser. Fout gezien? Meld het.
